Η παραγωγή EUV της ASML αυξήθηκε από 22 μονάδες το 2019 σε 42 μονάδες το 2021
Dec 09, 2022| Σύμφωνα με το The Elec, η ASML ανακοίνωσε πρόσφατα στο 2022 Semiconductor EUV Ecosystem Global Conference ότι ο αριθμός των συσκευών EUV που παράγονται από την ASML έχει αυξηθεί από 22 το 2019 σε 42 το 2021 και αναμένεται να ξεπεράσει τις 50 φέτος. Η παραγωγή θα αυξηθεί περαιτέρω το επόμενο έτος. Μια αρχική έκδοση της συσκευής High-NA EUV θα είναι διαθέσιμη μέχρι το τέλος του επόμενου έτους, με μοντέλο παραγωγής στα τέλη του 2024 ή στις αρχές του 2025.
Στην ανακοίνωση κερδών του τρίτου τριμήνου στις 19 Οκτωβρίου, η ASML είπε: "Στην επιχείρηση EUV High-NA, η ASML έχει λάβει πρόσθετες παραγγελίες για το TWINSCAN EXE:5200. Όλοι οι πελάτες EUV έχουν πλέον υποβάλει Διαταγές υψηλού ΝΑ». Η συσκευή High-NA EUV είναι μια συσκευή που αυξάνει το αριθμητικό διάφραγμα (NA) του φακού με δυνατότητα συλλογής φωτός από 0,33 σε 0,55. Επεξεργασία πιο εκλεπτυσμένων κυκλωμάτων ημιαγωγών από τις υπάρχουσες συσκευές EUV. Οι περισσότεροι στον κλάδο συμφωνούν ότι ο εξοπλισμός High-NA είναι απαραίτητος για διαδικασίες 2nm.
